سمب الطين هو الاستهلاكية المستخدمة لتلميع الميكانيكية الكيميائية في عملية تصنيع أشباه الموصلات. وفقا لاختلاف الجسيمات الكاشطة ، ينقسم ملاط سمب أساسا إلى ملاط السيليكا ، ملاط أكسيد السيريوم ، ملاط الألومينا وملاط الماس النانوي ، إلخ. الجسيمات الصلبة والمواد المؤكسدة الكيميائية في الطين سمب تلعب دور طحن والتآكل التخفيف على التوالي.
قد يحتوي الطين سمب جزيئات كبيرة أثناء النقل ، والبيئة الجافة ، أو الجسيمات المتساقطة من نظام توزيع الطين. قد تسبب هذه الجسيمات الكبيرة خدوشا على سطح رقائق أشباه الموصلات. من أجل تقليل العلامات الدقيقة على سطح رقاقة أشباه الموصلات ، من الضروري تثبيت نظام الترشيح لتصفية الطين سمب.
في الوقت الحاضر ، هناك أساسا نوعين من مخططات الترشيح: حلقة أو إعادة تدوير مخطط الترشيح ونقطة الاستخدام (بو) مخطط الترشيح. حلقة أو إعادة تدوير الترشيح يزيل أساسا الجسيمات الكبيرة في الطين سمب ، ومن ثم يتم نقل الطين سمب إلى الأداة عن طريق حلقة التوزيع. نقطة الاستخدام(بو) الترشيح هو أساسا لإزالة جزيئات كبيرة من الشوائب في الطين عندما يتم توزيع الطين إلى لوحة تلميع. معدات نظام الترشيح يختار عموما الفولاذ المقاوم للصدأ تصفية العلب، والمواد الاستهلاكية مرشح اختيار عموما خراطيش تصفية مطوي و تذوب خراطيش في مهب.
عند تصميم نظام الترشيح الطين سمب ، يجب عليك اختيار المواد الاستهلاكية الترشيح مناسبة وفقا لحجم الجسيمات ، التعكر ، ونوع الطين في الطين في الموقع. هذا يمكن أن يحسن كفاءة العمل ويوفر تكاليف الترشيح.